气体管道安装
气体管道可能承受许多种外力的作用，包括本身的重量、气体作用在管端的推力、风雪载荷、土壤压力、热胀冷缩引起的热应力、振动载荷和地i震灾害等。为了保证管道的强度和刚度，必须设置各种支(吊)架，如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。支架的设置根据管道的直径、材质、管子壁厚和载荷等条件决定。固定支架用来分段控制管道的热伸长，使膨胀节均匀工作；导向支架使管子仅作轴向移动。3、根据实验室的用气量，计算供气压力，流量和管道的内径，所有气体主管道原则不低于9。
为了排除凝结水，蒸汽和其他含水的气体管道应有一定的坡度，一般不小于千分之二。对于利用重力流动的地下排水管道，坡度不小于千分之五。蒸汽或其他含水的气体管道在底端设置排水管或疏水阀，某些气体管道还设有气水分离器，以便及时排去水液，防止管内产生水击和阻碍气体流动。给水或其他液体管道在顶端设有排气装置，排除积存在管道内的空气或其他气体，以防止气阻造成运行失常。管道如不能自由地伸缩，就会产生巨大的附加应力。因此，在温度变化较大的管道和需要有自由位移的常温管道上，需要设置膨胀节，使管道的伸缩得到补偿而消除附加应力的影响。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道，需要用保温材料包覆在管道外面，防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。第二，气体管路工程中很重要的是钢瓶间和管路的设计安装及各个辅助元件的选择和安装。常用的保温材料有水泥珍珠岩、玻璃棉、岩棉和石棉硅藻土等。
气体管路施工技术要求及验收标准？
技术要求
(1)总体设计：管道采用1/4”外径，经过AP处理的高等级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌，在使用仪器的附近接气体考克。
(2)管路设计、规划要点：
气体管路系统应具有良好的气密性，可靠性，可维护性。
1、气瓶阀出口为GB标准的外螺纹形式，为了便于管路系统与气瓶连接，故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。
2、为了方便更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。
3、由于气瓶内部的气体压力为150Bar左右，使用点的压力较小，气体压力有变化，而且数值差距较大，故应在气瓶出口处设置一级减压阀(双表头)。
4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切断供气的装置—开关阀，为了开关系统的方便和快捷，本项目中开关阀采用球阀。
5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性，所有管道采用进口316L不锈钢管道，内表面按规定处理。
6、管道与阀件的连接，管道与管道的连接应保证系统的气密性，同时要便于维修及更换阀件。
7、管道固定件要求坚固，轻巧，耐用。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。（11）气瓶须定期检验，不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶，液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。气体管道安装实验室供气系统作为一种气体补给方式，现已经被人们越来越广泛的使用。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。
以上信息由专业从事管道工程性能的珂锐弘扬于2025/3/18 19:19:04发布
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