实验室气体管道供气系统
实验室气路安装指实验室气体工程,即从气瓶至仪器终端之间连接管线,JHP一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成。目前主流气路编排主要为实验室集中供气系统。
公司提供全i方位的实验室气体管道供气系统,满足不同实验的用气要求与安全。采用汇流排供气设备,进行双瓶带手动、半自动、全自动切换功能,带有低压报警装置,实时监控气体压力,浓度侦测报警和排风,保证客户正常用气需求和生命财产安全。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。
实验室供气系统设计要点
(1)通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器,在气瓶出口装有单向阀,可避免更换气瓶时有空气和水分混入,另外在一端安装泄压开关球阀,将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道,保证仪器用气的纯度。
(2)集中供气系统采用二级减压保证压力的稳定,采用二级减压的方式,一是,经过第i一级减压后,干路压力比气瓶压力大大降低,起到了缓冲管道压力的作用,提高了用气的安全,降低了应用的风险,二是保证仪器供气入口压力的稳定,降低了因为气体压力波动而引起的测量误差,保证了仪器使用的稳定性。即使是干燥的氯i化氢和氯i气,高浓度时也不能储存在铝合金气瓶中。
(3)由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体,如甲i烷,乙i炔,氢气,做这易i燃气体的管路时,应注意管路尽量短,减少中间接头的连接,同时,气瓶一定装入防爆气瓶柜内,气瓶输出端接回火器,可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸,防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口,且有泄漏报警装置,一旦泄漏能及时报警并将气体排到室外。4、所有管路在天花板下面布设,并通过功能柱到中央台,边台的气体管路隐藏在实验工作台后面服务通道内。
气路系统百科知识
一、气瓶间。
1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧,并应采取遮阳防晒措施,当钢瓶间与建筑物为一体时,隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。
2、通风良好,并具有足够的泄爆面积,室内地面应有防火花,防静电措施;
3、可燃气体钢瓶(H2,C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;
4、还应设立泄露报警系统。
二、色谱室。
1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置,以便于安装、操作和检修为布置原则;
2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀,并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;
3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;
4、管道宜集中布置并沿墙明设,且方便安装及检修;
5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置,留出的维修空间不宜小于600mm;
6、氢气管道宜采用焊接连接,不应采用螺纹连接和使用闸阀。
以上信息由专业从事实验室气体管道安装生产商的珂锐弘扬于2025/3/14 22:20:40发布
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