高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。联接时，一般要在螺纹联接部分缠上氟塑料密封带，或涂上厚漆、绕上麻丝等密封材料，以防止泄漏。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。为了保证管道的强度和刚度，必须设置各种支(吊)架，如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。
高纯气体管路的设计要点：
1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。
3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端气体过滤器。
气体管道工程的保养主要有哪些？
其实主要的是接口与阀门，接口与阀门经过气的侵蚀在一定时间后会出现小故障，会容易出现漏气的现象。每日要检查气压表，如果出现漏气的话气压表就会不稳定或不在原来的地方等。
气体管道属于机电机械类物体其主要是为了输送气体，气体又分普通气体、高纯气体、特种气体。10、供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。生活当中接解的多的就是天i然气，煤气，气体运用不好的话就会给我们带来灾难。日常的保养非常重要，要做到及时检查气体管道的重要部位，通过重要部位来分析哪些地方管道出现问题。出现问题的地方要及时修复，避免损坏越来越大造成严重后果。
工业气体管道压力试验方法
气体管道压力试验方法
管道系统安装完毕后，为了检查管道系统的强度和严密性及保证安装质量，
应对管道系统进行压力试验。
试压的一般规定
1管道试压前应全i面检查、核对已安装的管子、管件、阀门、紧固件以及支架等，质量应符合设计要求及技术规范的规定。
2管道试压应编制试验方案，根据工作压力分系统进行试压。一般对于同向大气的无压管线，如放空管、排液管等可不进行试压。
3试压前将不能与管道一起试压的设备及压力系统不同的管道系统用盲板隔离，应将不宜与管道系统一起试压的管道附件拆除。临时装上短管4管道上所有开口应封闭，系统内的阀门应开启。
5试压时，应用精度等级1.5级以上的压力标2只，表的量程应为测压力的1.5~2倍，一只装在试压泵出口，另一只装在本系统压力
波动较小的其他位置。
6试压时应将压力缓慢升至试验压力，并注意观察管道各部分情况，如发现问题，应卸压后进行修理，禁止带压修理。缺陷消除后重新试压。
7当进行压力试验时，应划定禁区，无关人员不能进入，防止伤人。
8对于剧i毒管道及设计压力P≥10Mpa管道，压力试验前应按规范要求将各项资料经设计单位复查，确认无误。
9试压方案已经过批准，且进行了技术交底。
10管道系统试验合格后，应及时填写“管道系统压力试验记录”，有关人员签字确认。
以上信息由专业从事气体管道安装的珂锐弘扬于2025/2/28 9:50:06发布
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