实验室气体管道安装
【实验室气体管路要求】
1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端，对气体纯度要求不是太严格的地方。（比如通风柜）。
2、气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。
3、易i燃气体，如乙i炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。
4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。
5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。
6、 每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。
7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。
8、每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。
9、不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。
10、供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。
【实验室气体管路安装检验】
实验室承包商要保证气体管路系统的清洁，所有气体管路的检验根据标准程序。气体管路要做压力检验，防止管路泄漏。
气体管道安装流程
1、施工前准备：真空管道安装前做好施工材料的清点领用准备。
2、材料防腐：防腐施工是真空管道安装项目的重要环节。在安装工程中常用的的防腐材料主要有各种有机和无机涂料、玻璃钢、橡胶制品、无机板材等。
3、管道配管：冷热管尽量分开布置，分不开时，热管在上，冷管在下；真空管线应尽量短，减小阻力，达到更大真空度。
4、支架第i一阶段安装
5、管道安装及支吊架第二阶段安装
6、管道对口、焊接：对口的关键是破口要合适。焊接时，要注意选择与管道材质相匹配的焊条，用评定好的焊接工艺进行焊接。
7、阀门及特殊部件的安装
8、支架和管道安装符合性检查
9、严密性试验及水压
10、系统的冲洗和吹扫
11、支吊架调整
12、安装结束及记录文件整理
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。【实验室气体管路安装检验】实验室承包商要保证气体管路系统的清洁，所有气体管路的检验根据标准程序。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。（3）穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。
实验室气路改造管道材质及作用
高纯度气体管一般根据循环介质的工艺要求由薄壁不锈钢管制成。
主要有铬、镍和钼合金元素。
a、铬的存在提高了不锈钢在氧化介质中的耐腐蚀性，形成富铬氧化膜;
b、钼的存在提高了不锈钢在非氧化介质中的耐腐蚀性
c、镍是奥氏体的形成元素，镍的存在不仅提高了钢的耐蚀性，而且改善了钢的工艺性能。
以上信息由专业从事气体管道安装生产商的珂锐弘扬于2024/12/12 19:59:51发布
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