顶旭光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐,顶旭桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力,助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案
技术参数
曝光光源:紫外LED光源波长:365nm;
曝光面积:4英寸、6英寸可选;
曝光方式:单面接触式定时曝光;
曝光分辨率:2um;
曝光强度:20~200mW/cm2可调;
曝光不均匀性:≤5%;
光源平行性:≤2°;
光源寿命:≥20000h;
电源输入:AC220V±10V,50HZ
功率:250W
重量:25kg
外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)
工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等quan面的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累,持续将专ye知识与创新思维相结合,为客户提供高pin质的解决方案。
脑芯片如何定制使用方法该设备操作简单,易于上手,具体操作如下:
一、曝光前准备工作
1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板:根据项目需要,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。
顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。
生物芯片如何安装曝光操作步骤
1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,确保位置准确。
2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。
4、启动曝光:确认参数设定无误后,点击启动按钮,设备将开始进行曝光。
5、监控曝光过程:在曝光过程中,您可以通过设备界面监控曝光进度,确保一切顺利进行。
6、曝光完成:曝光结束后,设备会发出提示,取出硅片和光刻板。
以上信息由专业从事SU8模具加工设备设计的顶旭于2024/12/24 11:03:04发布
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