气体管道安装
联接方法
管子、管子联接件、阀门和设备上的进出接管间的联接方法，由气体的性质、压力和温度以及管子的材质、尺寸和安装场所等因素决定，主要有螺纹联接、法兰联接、承插联接和焊接等四种方法。
螺纹联接
主要适用于小直径管道。联接时，一般要在螺纹联接部分缠上氟塑料密封带，或涂上厚漆、绕上麻丝等密封材料，以防止泄漏。在1.6兆帕以上压力时，一般在管子端面加垫片密封。不仅是给试验操作人员一个良好的工作环境，更加是对试验人员的人身安全的一个保障。这种联接方法简单，可以拆卸重装，但须在管道的适当地方安装活接头，以便于拆装。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。气体管道安装在实验室设计领域中，实验室供气系统的规划设计是相当重要的。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。（11）气瓶须定期检验，不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶，液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。
实验室气路改造安全要求
1、乙i炔铜盐、乙i炔气和气瓶不得与铜或含铜量超过70%的合金接触。所有附件不得使用这些金属。
2、气瓶和仪器之间应该有一个安全瓶，以防止吸回瓶中的现象发生，并造成危险。
3、如果气瓶发热或发生回火，立即关闭气瓶阀门，将气瓶移出室外空矿坑，将气瓶浸入冷水中，或倒入大量冷水降温，慢慢打开阀门并继续冷却，直到气体释放。
4、乙i炔、氢气和液化石油i气是危险的。
5、氧气虽然不易i燃，但助燃性强，不得接触污物、有机物。
6、使用腐蚀性气体。气瓶和附件应经常检查。不用时不要把它们放在实验室里。
以上信息由专业从事气体管道系统的珂锐弘扬于2024/5/9 8:18:55发布
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