气体管道安装
在实验室设计领域中,实验室供气系统的规划设计是相当重要的。不仅是给试验操作人员一个良好的工作环境,更加是对试验人员的人身安全的一个保障。(8)气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备,与明火距离不少于10m,氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时,不能放在一起。所以在实验室设计之初我们就应该把供气系统的设计规范考虑进去。相应等级的实验室就应该有相应的设计规范,这样才能完i美的设计出一个利于工作而保证安全的实验室。
一、气瓶间及气瓶的安全规范
(1)气瓶应专瓶,不能随意改装其它种类的气体。
(2)气瓶室严禁靠近火源、热源和有腐蚀性的环境。
(3)气瓶室必须使用防爆开关和灯具,周围禁止动用明火。
(4)气瓶室应有通风设备,保持阴凉,气瓶室顶部应该留有泄流孔防止易i燃气体的聚集。
(5)空瓶与实瓶分区放置,气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。
(6)瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全,无漏气、滑丝、表针松动等危险情况,各类气压表一般不得混用。
(7)气瓶在储存、使用时必须直立放置,工作地点不固定且移动频繁时,应固定在手推车上,防止倾倒,严禁卧放使用。
(8)气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备,与明火距离不少于10m,氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时,不能放在一起。
(9)使用后的空瓶,应移至空瓶存放区,并加上空瓶的标示,严禁空瓶与实瓶混存。
(10)气瓶中气体不可用尽,必须保持一定余压。
(11 )气瓶须定期检验,不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶,液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。
(12)气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对日用气量不超过一瓶的气体,实验室内可放置一个该种气体的气瓶,但气瓶应有安全防护设施。
(13)氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。
气体管道安装需要注意什么?
第i一,你所设工程的基本信息要尽量齐全,
例如,仪器的摆放位置,
仪器所要用到的气体,
仪器所用的气体压力,
流量方面的要求,所用仪器的进气口的配置情况,链接仪器的管线为多大。
第二,气体管路工程中很重要的是钢瓶间和管路的设计安装及各个辅助元件的选择和安装。
这些关系到你所要测验的物质的报告精度,
如果你要测验的物质报告要求只是个大概的就可以,
那么建议用国内的报告精度,
否则,必须选择国外的品牌,
因为国内的品牌对这一方面还处于刚开发起步阶段。第三、 气体管路工程安装中,
由于标准气体品种繁多,成分复杂,易i燃易i爆和有毒有害气体的泄漏,都可能产生事故,
因此室内安装报警器是实现安全生产的必要条件,安全生产,预防为主。
因此在气体管路安装过程中我们要注意腐蚀
1)湿气腐蚀 例如HCL、CL2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶,
水分的引入可能来源于客户使用,没有关闭阀门,也可能在充装过程中或水压检验中;NH3、SO2、H2S也有类似的腐蚀。
即使是干燥的氯i化氢和氯i气,高浓度时也不能储存在铝合金气瓶中。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。气体经鼓风机、压缩机、泵和锅炉等增压后,从管道的高压处流向低压处,也可利用气体自身的压力或重力输送。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。9、不锈钢管件在现场安装时方可启封,启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
以上信息由专业从事管道工程厂家的珂锐弘扬于2024/4/30 6:26:16发布
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