气体管道安装
在实验室设计领域中，实验室供气系统的规划设计是相当重要的。不仅是给试验操作人员一个良好的工作环境，更加是对试验人员的人身安全的一个保障。所以在实验室设计之初我们就应该把供气系统的设计规范考虑进去。相应等级的实验室就应该有相应的设计规范，这样才能完i美的设计出一个利于工作而保证安全的实验室。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。
一、气瓶间及气瓶的安全规范
（1）气瓶应专瓶，不能随意改装其它种类的气体。
（2）气瓶室严禁靠近火源、热源和有腐蚀性的环境。
（3）气瓶室必须使用防爆开关和灯具，周围禁止动用明火。
（4）气瓶室应有通风设备，保持阴凉，气瓶室顶部应该留有泄流孔防止易i燃气体的聚集。
（5）空瓶与实瓶分区放置，气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。
（6）瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全，无漏气、滑丝、表针松动等危险情况，各类气压表一般不得混用。
（7）气瓶在储存、使用时必须直立放置，工作地点不固定且移动频繁时，应固定在手推车上，防止倾倒，严禁卧放使用。
（8）气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备，与明火距离不少于10m，氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时，不能放在一起。
（9）使用后的空瓶，应移至空瓶存放区，并加上空瓶的标示，严禁空瓶与实瓶混存。
（10）气瓶中气体不可用尽，必须保持一定余压。
（11 ）气瓶须定期检验，不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶，液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。
（12）气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对日用气量不超过一瓶的气体，实验室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。
（13）氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。
洁净车间高纯气体管道的安装、施工？
洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道，其具体的安装要求可参考《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的气体。一、气瓶间及气瓶的安全规范（1）气瓶应专瓶，不能随意改装其它种类的气体。
高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道，稍有疏忽便可能破坏气体的质量。因此，要理解安装气体质量的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求，工作严肃认真、一丝不苟，高度重视各个细小环节，建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:
1.外观的检查工作
(1)管道系统的管材、阀门及所有附件，严格设计要求选用，不得随意更改或代换。
(2)所有管材应放在室内精心保管，不得露天堆放、日晒和雨淋。
(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封，不得脱落、破i裂。
(4)管子、管件、阀门等使用前，详细进行下列外观检查:
1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。
2)无锈蚀、蚀斑等现象。
3)管子平直、圆滑，无局部凹陷，无刮伤、挤压等缺陷。
4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求，螺纹处密封、保护是否良好。
5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等i级i证书和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验，必须符合设计要求。
6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。
7)法兰的密封面应当平整、光滑，不得有毛刺及径向沟槽，凹凸法兰应当能够自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。
8)橡胶、塑料等非金属垫片，应当质地柔软、无老化及分层现象，表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。实验室是一个特殊的工作区域，从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑，形成系统的供气迫在眉睫，实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现，气瓶供气已逐步淘汰。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。实验室集中供气系统已成为实验室的主流，其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高，工作流程更优化。
以上信息由专业从事气体管道公司的珂锐弘扬于2024/4/29 8:38:36发布
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