实验室气路改造设计有那些要求？
1、为了便于气瓶的更换，气瓶连接器和调节阀之间应设置耐高压金属软管。
2.为了防止整个系统回火，应安装防爆止回阀。
3.气体在进入使用点之前，为了便于控制气体开关，应提供一个使用点球阀。
4.为了保持气体的纯度和管道系统的气密性，所有管道均为316L不锈钢管道，内表面经AP处理。
5.为了便于阀门部件的维护和更换，管道与阀门部件之间的连接应采用高压双卡套接头连接。
6.管道固定部件(管夹)应由耐高温金属材料制成，并应牢固、轻便和耐用。
7.考虑到坚固、耐腐蚀、使用方便、外形美观等原因，调压阀的控制面板采用不锈钢制成。
8.为了保证气体输出压力的稳定性和气体的纯度，选择了二级减压系统(即采用一级减压系统和二级减压系统，二级减压设备系统自带)。
高纯气体管路的设计要点：
1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。
3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端气体过滤器。
减压器的使用要点
(1) 使用前应确认减压器是完好的,并检查有无油脂污染,特别是进口处的污物及灰尘等应及时清除。
(2) 检查气瓶是否有油脂污染,螺纹是否损坏,如发现有油脂或螺纹损坏,就不再使用该气瓶,并将这些情况通知供气单位,清除气瓶阀(特别是阀口处)的油脂污染,修复螺纹。
(3) 把减压器装到气瓶阀上,将输入输出接头拧紧。
(4) 打开气瓶阀前,先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。
(5) 打开气瓶阀前,先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启至高压表指示出气瓶内压力。
(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆,放出一部分气后重新调节。
(7) 当工作结束后,先关闭气瓶阀,然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好,逆时针方向旋转调节螺杆,一直到调节弹簧不受压为止。
(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动,不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。
(9) 减压器只能使用规定的气体。
以上信息由专业从事气体管道设计的珂锐弘扬于2024/3/29 7:29:22发布
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