1260液相设备供应承诺守信 科鲁斯特测控

1260液相设备供应承诺守信 科鲁斯特测控 [科鲁斯特)cf59fa1]"内容：技术参数：自动进样器：样品瓶容量：可达768瓶，另加10个2ml瓶，另加10个2ml瓶进橛量：0.1-100ul（标准）高达1500ul的多次吸液功能所有自动进样器的度：一般＜0.5（5-100ul进样量）恒温自动进样器：温度控制范围：从4℃-40℃可设定1℃Agilent 1200系列柱温箱温度设定范围：室温下10℃至80℃温度稳定性：±0.15℃柱容量：30cm三根柱Agilent 1200系列可变波长检测器短期噪声：±0.75×10-5,254nm波长范围：190-600nm

低温硅液相外延：低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中,由于新的溶剂(主要是Ag,Au及其合金)不断发现,大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上,Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值,而当生长温度低于500℃时,Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。

LPE的硅外延层,以其良好的电学、光学及其生长特性,而在CVD无法胜任的领域应用前景诱人.目前,取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术 [1]  .场控制器件：CVD在硅器件的埋结制造中,因自掺杂而出现埋层尺寸增加,密排栅极叉指制造也受到严重影响,而LPE因其可以消除自掺杂,而在这方面得到应用,尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造,其优点更为明显 [1]  .

以上信息由专业从事1260液相设备供应的科鲁斯特于2024/5/5 7:17:10发布

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